ISSN 2224-087X (Друкована версія)
ISSN 2224-0888 (Online версія)

Збірник наукових праць "Електроніка та інформаційні технології"

(З 1966 року до 2010 року виходив під назвою "Теоретична електротехніка")

Свідоцтво про державну реєстрацію КВ № 17618-6468ПР від 11.02.2011 р.

Головна сторінка Пошук Правила оформлення статей English     Русский

Випуск 11

Випуск 11, Сторінки: 128-137
КОМБІНОВАНА ОПТИЧНА МЕТОДИКА КОНТРОЛЮ ФІЗИЧНИХ ПАРАМЕТРІВ ТОНКИХ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ ПЛІВОК НА ПОВЕРХНІ МОНОКРИСТАЛІЧНОГО КРЕМНІЮ
В. Белюх , Б. Павлик
Запропоновано комбіновану оптичну методику контролю фізичних параметрів тонких діелектричних плівок на поверхні монокристалічного кремнію. Методика складається з двох етапів: 1) еліпсометричні вимірювання діелектричних плівок на поверхні кремнієвих пластин, 2) вимірювання спектрів відбивання діелектричних плівок з метою одержання виразної інтерференційної картини. На першому етапі дають відповідь на питання про застосовність моделі "прозора оптично ізотропна плівка - поглинаюча оптично ізотропна підкладка" до одержаних у технологічному процесі систем "плівка-підкладка", і визначають товщину плівки. На другому етапі досліджують дисперсію показника заломлення діелектрика. На підставі результатів досліджень на двох етапах роблять висновок про придатність чи непридатність досліджуваного об’єкту до подальшого технологічного процесу виготовлення інтегральних мікросхем. Застосовність методики перевірено на системах $mathrm{Si_3N_4 - Si}$.
PDF-версія

Головна сторінка Пошук Правила оформлення статей English     Русский

© Львівський національний університет імені Івана Франка, 2011

Розробка програмного забезпечення та підтримка - лабораторія високопродуктивних обчислювальних систем